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功率半導(dǎo)體器件錫膏解決方案深圳福英達(dá)分享:功率半導(dǎo)體器件功率循環(huán)測(cè)試與控制策略

2022-02-22

功率半導(dǎo)體器件錫膏解決方案深圳福英達(dá)分享:功率半導(dǎo)體器件功率循環(huán)測(cè)試與控制策略


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導(dǎo) 讀 


功率循環(huán)測(cè)試是一種功率半導(dǎo)體器件的可靠性測(cè)試方法,被列為AEC-Q101AQG-324等車(chē)規(guī)級(jí)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的必測(cè)項(xiàng)目。與溫度循環(huán)測(cè)試相比,功率循環(huán)是通過(guò)器件內(nèi)部工作的芯片產(chǎn)生熱量,使得器件達(dá)到既定的溫度;而溫度循環(huán)則是通過(guò)外部環(huán)境強(qiáng)制被測(cè)試器件達(dá)到測(cè)試溫度。

簡(jiǎn)而言之,一個(gè)是運(yùn)動(dòng)發(fā)熱,一個(gè)是高溫中暑。

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功率循環(huán)測(cè)試


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功率循環(huán)測(cè)試    


由于在功率循環(huán)測(cè)試中的被測(cè)試器件的發(fā)熱部分集中在器件工作區(qū)域,其封裝老化(aging)模式與正常工作下的器件相類(lèi)似,故功率循環(huán)測(cè)試被認(rèn)可為最接近于實(shí)際應(yīng)用的功率器件可靠性測(cè)試而受到廣泛的關(guān)注。


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功率循環(huán)測(cè)試過(guò)程中,器件內(nèi)部溫度分布以及應(yīng)力變化



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功率循環(huán)測(cè)試臺(tái)    



功率循環(huán)測(cè)試臺(tái)是用于功率器件進(jìn)行功率循環(huán)測(cè)試的設(shè)備,其設(shè)計(jì)原理并不復(fù)雜。在試驗(yàn)臺(tái)中,通過(guò)電流源供給負(fù)載電流給被測(cè)試器件,電流/電壓探頭實(shí)時(shí)監(jiān)控被測(cè)試器件的電流/電壓數(shù)據(jù),控制器操控電流源實(shí)現(xiàn)負(fù)載電流按既定時(shí)間中斷。設(shè)備整體的主要成本在電流源與控制器,設(shè)備的設(shè)計(jì)難度在于程序控制以及數(shù)據(jù)采集硬件。


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功率循環(huán)測(cè)試設(shè)備簡(jiǎn)圖



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檢測(cè)時(shí)間點(diǎn)和被測(cè)參數(shù)    



在功率循環(huán)測(cè)試過(guò)程中,直接檢測(cè)的數(shù)據(jù)是器件電壓降,負(fù)載電流以及器件底部溫度。通過(guò)選取數(shù)據(jù)采樣的時(shí)間點(diǎn),收集被測(cè)試器件在最高溫與最低溫時(shí)的電壓與器件底部溫度變化,進(jìn)而通過(guò)計(jì)算得出器件芯片溫度變化以及器件內(nèi)部的熱阻變化。

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功率循環(huán)測(cè)試中,檢測(cè)時(shí)間點(diǎn)以及被測(cè)試參數(shù)


由于大多數(shù)器件在測(cè)試中是處于被封裝狀態(tài),其內(nèi)部溫度不可通過(guò)直接手段進(jìn)行檢測(cè),故在功率循環(huán)測(cè)試中,器件內(nèi)部芯片的溫度是采用K系數(shù)的方式進(jìn)行間接計(jì)算而獲得的。K系數(shù)代表器件芯片的溫度敏感電學(xué)參數(shù),其選取的原則在于簡(jiǎn)單、可靠、敏感度高。硅基IGBT芯片的溫度一般采用Vce(集電極-發(fā)射極電壓)進(jìn)行計(jì)算。同時(shí)Vce也能反映IGBT器件內(nèi)部電流路徑的老化情況,5%的Vce增加被認(rèn)定為器件損壞的標(biāo)準(zhǔn)


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IGBT器件的K系數(shù)(Vce-Tj 擬合線)



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被測(cè)試器件的熱阻在功率循環(huán)測(cè)試中應(yīng)當(dāng)被實(shí)時(shí)監(jiān)控,因?yàn)槠浞从沉似骷崮芰Φ淖兓嶙柰ㄟ^(guò)下列方程簡(jiǎn)單計(jì)算得出,20%的Rth增長(zhǎng)被認(rèn)定為器件失效的標(biāo)準(zhǔn)。


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以下列功率循環(huán)測(cè)試中收集的數(shù)據(jù)為例,Vce在427.4k循環(huán)數(shù)左右發(fā)生階段跳躍,同時(shí)器件芯片的最高溫度(Tj,high)上升明顯。這表明器件芯片表面的鍵合線出現(xiàn)斷裂或脫落。而Rth無(wú)明顯變化,表明器件內(nèi)部散熱層老化情況不明顯。


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功率循環(huán)測(cè)試中的數(shù)據(jù)


上圖中的功率循環(huán)測(cè)試數(shù)據(jù)有一個(gè)明顯的缺陷,即測(cè)試數(shù)據(jù)的噪聲較大,無(wú)法準(zhǔn)確反映器件內(nèi)部的真實(shí)情況。出現(xiàn)這種缺陷的原因有:被測(cè)試器件電學(xué)連接不規(guī)范,功率循環(huán)測(cè)試設(shè)備的精度有限,測(cè)試數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)時(shí)間點(diǎn)的選取失誤等等。

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錫銀銅SAC錫膏   錫銀銅 SACS錫膏     錫鉍銀SnBiAg錫膏     錫鉍銀銻SnBiAgSb錫膏  錫鉍銀SnBiAgX錫膏  錫鉍SnBi錫膏     BiX 錫膏  金錫AuSn錫膏     錫銻SnSb錫膏     含鉛 SnPb錫膏      各向異性導(dǎo)電錫膠    微間距助焊膠

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功率循環(huán)測(cè)試-控制策略



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功率循環(huán)測(cè)試-控制策略    


在功率循環(huán)測(cè)試之中,被測(cè)試器件通過(guò)自身功率損耗引起的發(fā)熱來(lái)達(dá)到測(cè)試預(yù)設(shè)溫度。其中,器件結(jié)溫與其他參數(shù)的基本關(guān)系可由以下公式概括:

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由上可知,測(cè)試所需要的器件結(jié)溫(Tj)可以通過(guò)調(diào)整器件的功率損耗(I*V),熱阻(Rth)以及冷卻板溫度(Tc,即殼溫,此處近似為冷卻溫度)來(lái)獲得。同時(shí),器件導(dǎo)通時(shí)間(ton)也會(huì)對(duì)器件的結(jié)溫有所影響。


在上一講的介紹中,標(biāo)準(zhǔn)的功率循環(huán)測(cè)試即通過(guò)下圖的測(cè)試電路實(shí)現(xiàn)。被測(cè)試器件在固定導(dǎo)通時(shí)間,冷卻時(shí)間以及負(fù)載電流的情況下進(jìn)行測(cè)試。由于鍵和線以及焊料層在測(cè)試過(guò)程中逐漸老化,器件的功率損耗隨之提升,而器件散熱情況逐漸惡化,兩者結(jié)合造成器件結(jié)溫升高并進(jìn)一步加快器件封裝的損壞速度,最終使器件失效。


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功率循環(huán)測(cè)試設(shè)備簡(jiǎn)圖


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功率循環(huán)測(cè)試-測(cè)試匯總    


然而功率循環(huán)測(cè)試的控制策略并不僅此一種,殼溫Tc,功率損耗Pv以及結(jié)溫Tj皆可通過(guò)其他參數(shù)的調(diào)試使之在測(cè)試中保持恒定,用以量度器件在不同操作環(huán)境下的功率循環(huán)壽命。U. Scheuermann以及G. Zeng等人在控制策略的影響方面進(jìn)行了深入的研究。


在U. Scheuermann的研究中,殼溫差(dTc),功率損耗(Pv)與結(jié)溫差(dTj)在測(cè)試過(guò)程中分別通過(guò)不同的參數(shù)調(diào)試而被固定,其中,器件的初始結(jié)溫差(dTj)都為125開(kāi)爾文。最終測(cè)試結(jié)果可知,標(biāo)準(zhǔn)的功率循環(huán)測(cè)試相對(duì)于采用其他測(cè)試控制策略的測(cè)試更為嚴(yán)苛,器件的測(cè)試壽命最短。然而,測(cè)試控制策略的類(lèi)型并未影響器件的失效機(jī)理,器件皆因鍵和線脫落而失效。芯片底部焊料層的情況在U. Scheuermann的研究中并未得到體現(xiàn)。

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U. Scheuermann,不同控制策略下功率循環(huán)測(cè)試匯總


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U. Scheuermann,不同控制策略下功率循環(huán)測(cè)試的結(jié)果


下圖中的鍵和線由于器件溫度以及電流分布不均造成熔斷。此種現(xiàn)象主要發(fā)生在當(dāng)部分鍵和線已經(jīng)脫落,而殘存的鍵和線無(wú)法負(fù)荷導(dǎo)通電流的情況下。


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U. Scheuermann,功率循環(huán)測(cè)試造成的鍵和線失效


在G. Zeng的研究中,功率損耗(Pv)與結(jié)溫差(dTj)在測(cè)試過(guò)程中被固定,其所選擇的調(diào)控參數(shù)相對(duì)于U. Scheuermann的研究更為細(xì)化。但是結(jié)溫差dTj=87 K的初始實(shí)驗(yàn)條件相較于U. Scheuermann的125 K差距較大,造成不同的失效機(jī)理(焊料層老化失效),使二者無(wú)法進(jìn)行直接對(duì)比。但相同的是,固定導(dǎo)通、冷卻時(shí)間在G. Zeng的研究中仍然屬于最嚴(yán)苛測(cè)試控制策略。


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G. Zeng,不同控制策略下功率循環(huán)測(cè)試匯總


下圖是功率循環(huán)測(cè)試中所得到的監(jiān)測(cè)參數(shù)曲線,可以明顯看出結(jié)溫差(dTj)與熱阻值(Rth)在測(cè)試過(guò)程中同步變化,可知器件散熱惡化是造成器件溫度上升的主要因素。此種類(lèi)型的測(cè)試參數(shù)曲線多出現(xiàn)于結(jié)溫差較低的測(cè)試中。


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G. Zeng,標(biāo)準(zhǔn)功率循環(huán)測(cè)試中的參數(shù)監(jiān)測(cè)


芯片底部的焊料層老化可以通過(guò)超聲波掃描顯微技術(shù)進(jìn)行直觀的比較。


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G. Zeng,功率循環(huán)測(cè)試造成的芯片底部焊料層失效


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功率循環(huán)測(cè)試-標(biāo)準(zhǔn)控制策略    


通過(guò)的已有的研究,可知標(biāo)準(zhǔn)的功率循環(huán)測(cè)試控制策略,即固定導(dǎo)通與冷卻時(shí)間以及負(fù)載電流的方法,可以最快速的得到器件的功率循環(huán)測(cè)試壽命。此種控制策略由于其測(cè)試操作簡(jiǎn)便,設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,效率高,貼近于實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景的優(yōu)點(diǎn),被廣大廠商所采用的。其他類(lèi)型的測(cè)試控制策略僅存在于特殊的測(cè)試需求中。


同時(shí),IEC,AQG324等測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)中,固定導(dǎo)通與冷卻時(shí)間的控制策略被列為標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試操作規(guī)范,通過(guò)更改測(cè)試控制策略來(lái)延長(zhǎng)器件測(cè)試壽命從而通過(guò)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)的手段在此無(wú)法生效。


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來(lái)源:廣東能芯

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深圳市福英達(dá)20年以來(lái)一直深耕于微電子與半導(dǎo)體封裝材料行業(yè)。致力于為業(yè)界提供先進(jìn)的焊接材料和技術(shù)、優(yōu)質(zhì)的個(gè)性化解決方案服務(wù)與可靠的焊接材料產(chǎn)品。提供包括LED微間距低溫封裝錫膏錫膠、LED微間距中溫高溫封裝錫膏錫膠、LED微間距低溫高強(qiáng)度錫膏錫膠、倒裝芯片封裝焊料、FPC柔性模塊封裝錫膏錫膠、植球/晶圓級(jí)植球助焊劑、凸點(diǎn)制作錫膏、PCBA錫膏錫膠、車(chē)用功率模塊封裝錫膏錫膠、車(chē)載娛樂(lè)封裝錫膏錫膠、車(chē)用LED封裝焊料、車(chē)載MEMS封裝焊料、軌道交通用IGBT封裝錫膏錫膠、基帶芯片系統(tǒng)級(jí)封裝錫膏錫膠、存儲(chǔ)芯片高可靠封裝錫膏錫膠、射頻功率器件封裝錫膏錫膠、多次回流封裝錫膏錫膠、物聯(lián)網(wǎng)安全芯片封裝焊料、支付芯片系統(tǒng)級(jí)封裝焊料、物聯(lián)網(wǎng)身份識(shí)別封裝焊料、MEMS微機(jī)電系統(tǒng)封裝錫膏錫膠、射頻功率器件錫膏錫膠、芯片封裝錫膏錫膠、攝像頭模組封裝專(zhuān)用錫膠、簡(jiǎn)化封裝工藝免洗錫膏/錫膠、高可靠性水洗錫膏、低溫高強(qiáng)度錫膏/錫膠、便于返修的錫膏產(chǎn)品、高性價(jià)比錫膏方案、高可靠高溫Au80Sn20焊料、高可靠Low alpha 高鉛封裝焊料、高可靠水洗焊料、醫(yī)療設(shè)備高可靠性封裝錫膏錫膠、醫(yī)療設(shè)備系統(tǒng)級(jí)封裝焊料、復(fù)雜結(jié)構(gòu)激光焊接錫膏錫膠、精密結(jié)構(gòu)低溫封裝焊料解決方案。以及mLED新型顯示各向異性導(dǎo)電膠、mLED新型顯示微間距焊接助焊膠、mLED新型顯示高強(qiáng)度細(xì)間距錫膠、mLED新型顯示微間距低溫焊料、mLED新型顯示微間距SAC305錫膏、SMT低溫元器件貼裝錫膠、SMT低溫元器件貼裝錫膏、SMTSAC305系列錫膏、SMT微間距助焊膠、Low α無(wú)鉛焊料、SiP水洗錫膏、SiP無(wú)鉛無(wú)銀焊料、Low α高鉛焊料、MEMS水洗激光錫膏、MEMS低溫高可靠性錫膠、MEMS低溫高可靠錫膏、MEMS多次回流焊料、MEMSAu80Sn20金錫焊膏、功率器件高鉛焊料、功率器件水洗錫膏、功率器件無(wú)鉛錫膏、功率器件Au80Sn20金錫錫膏解決方案。


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封裝決定了MEMS 器件的可靠性以及成本,是MEMS 器件實(shí)用化和商業(yè)化的關(guān)鍵。降低封裝應(yīng)力是實(shí)現(xiàn)MEMS 器件高性能和高穩(wěn)定性的關(guān)鍵要素。簡(jiǎn)要分析了芯片級(jí)封裝過(guò)程中MEMS 器件封裝應(yīng)力產(chǎn)生的機(jī)理,詳細(xì)介紹了目前國(guó)內(nèi)外降低應(yīng)力封裝技術(shù)和方法,并對(duì)于MEMS 器件低應(yīng)力封裝技術(shù)作出了總結(jié)和展望。

2022-02-18
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